潔凈室過濾網(wǎng)的泄漏測試（高效過濾器檢漏）

一、說明
過濾網(wǎng)的泄漏測試應(yīng)當(dāng)是無塵室測試中，最復(fù)雜、最耗時(shí)間的測量項(xiàng)目。泄漏測試的目的，是要確認(rèn)：
1. 濾網(wǎng)的材料無破損，
2. 安裝恰當(dāng)。
濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過泄漏測試，但是在搬運(yùn)與安裝過程難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認(rèn)濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當(dāng)，微粒會(huì)從邊框漏進(jìn)無塵室風(fēng)口。就算是 FFU 系統(tǒng)，天花板上是負(fù)壓，若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會(huì)產(chǎn)生問題。因此，邊框掃描一樣重要。 濾網(wǎng)泄漏測試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。
測試方式有：
1. 氣膠光度計(jì)測試法， 2. 微粒計(jì)數(shù)器測試法， 3. 全效率測試法， 4. 外氣測試法。后兩種現(xiàn)在使用非常少。

二、方法
氣溶膠光度計(jì)測試法
氣膠光度計(jì)測試法是最早期的測試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：茫浇裉烊耘f沿用。氣膠光度計(jì)（ Aerosol Photometer ）是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。 DOP 是一種油性化學(xué)物質(zhì)，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。 微粒計(jì)數(shù)器測試法
半導(dǎo)體業(yè)方面，早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計(jì)，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)過科學(xué)家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn) PSL 因?yàn)槲⒘５牧脚c濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。使用時(shí)只要把 PSL 溶液霧化，導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可。